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半導体製造のクリーンルーム

クリーンルームの内面は、次の基準を満たす必要があります。
平らで滑らか:内面は平らで滑らかで、亀裂や粒子の落下がなければ滑らかでなければなりません。
タイトなインターフェイス:汚染物質の侵入を防ぐために、インターフェイスは緊密でなければなりません。
洗浄と消毒に耐性:材料は、頻繁な洗浄と消毒に耐えることができなければなりません。
湾曲したデザイン:壁と床の間の接合部は湾曲している必要があります。そうしないと、蓄積を減らして洗浄を促進するために他の測定値をとる必要があります。
照明:清潔なエリアでの照明は300ルクスを超えてはならず、特別な要件を備えた生産エリアにローカル照明を設置できます。
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製品説明

蘇州製薬機械があなたに供給しますGMPクリーニングルーム浄化サンドイッチパネルドアクリーンルーム!

 

 

製品説明

 

半導体製造におけるクリーンルームの生産環境と機器には、非常に高い要件と基準が必要です。


1。半導体チップの生産環境の要件
半導体製造レベルのクリーンルームは、製品生産プロセスの規制に従って明確にする必要があり、クリーンワークショップは、温度、湿度、サイクロンフロー要件の要件、生産に必要な生および補助材料の特性、水、電気、ガス、その他の要件など、製造された製品のさまざまな設計基準に従って構築されています。
(1)。屋内ノイズレベル(空の状態):65dBを超えてはいけません(a)
(2)。垂直フロークリーンルームの完全なカバレッジ比は60%を超えてはならず、水平方向の一方向のフロークリーンルームは40%を超えてはなりません。
(3)。外側との静圧差は10pa未満であってはならず、空気の清潔さが異なるきれいな領域と非きれいな領域との静圧差は、5pa以下であってはなりません。
(4)。クリーンルームの新鮮な空気の量は、次の2つの項目の最大でなければなりません。
(a)屋内の排気量を補償し、屋内の正の圧力値を維持するために必要な新鮮な空気の量の合計。
(b)1人あたり1人あたりクリーンルームに供給される新鮮な空気の量が40m3以上であることを確認します。
(5)。浄化エアコンシステムのヒーターには、新鮮な空気と温度過剰のパワーオフ保護を装備する必要があります。ポイント加湿を使用する場合は、無水保護を設定する必要があります。寒冷地では、新鮮な空気システムには不凍液保護対策を装備する必要があります。


2。半導体チップの温度と湿度制御
半導体製造におけるクリーンルームの生産と保管には、温度と湿度に関する非常に厳しい要件があります。したがって、半導体クリーンルームの相対湿度は40%から60%の間で制御する必要があり、許容誤差は±1%の狭い範囲内です。フォトリソグラフィ領域または遠くの紫外線処理領域の許容誤差はさらに小さく、他の領域では±5%の範囲内に置くことができます。半導体チップの生産温度は非常に厳格です。温度が高すぎたり低すぎたりすると、チップが廃棄されます。 22度-23程度の間で制御する必要があります。湿度制御が異常になると、クリーンルームの全体的な性能が低下する可能性があります。

要因は次のとおりです。

(1)。細菌の成長。細菌やその他の生物学的汚染物質(カビ、ウイルス、菌類、ダニ)は、60%以上の相対湿度を持つ環境で積極的に繁殖することができます。

(2)。労働者が快適に感じる室温の範囲。 40%から60%の相対湿度の範囲は、人間の快適さのための中程度の範囲です。湿度が高すぎると、人々は息苦しくなりますが、湿度は30%未満で乾燥した、ひび割れた肌、呼吸器の不快感、感情的な不幸を感じることができます。

(3)静電電荷の生成。半導体のクリーンルームは通常、静的電荷を制御するために特別な機器またはデバイスを使用します。
(4)金属腐食。湿度が高いほど、都市の速度が速くなります。
(5)。吸水と水蒸気凝縮。クリーンルームの周りの空気にさらされるすべての表面は、少なくとも一分子の水ですぐに覆われています。これらの表面は、水と反応できる薄い金属コーティングで構成されている場合、湿度が高いと反応が加速する可能性があります。
(6)。フォトリソグラフィの分解。相対湿度の高い環境では、水の吸収により、ベーキングサイクル後のフォトレジストの拡大が悪化します。フォトレジストの接着は、相対湿度が高いことによっても悪影響を受ける可能性があります。相対湿度が低く(約30%)、フォトレジストの接着が容易になり、重合修飾子を必要としません。

 

3.クリーンワークショップの従来のシステムクリーンワークショップの温度、湿度、清潔さを生産要件を満たすために、従来の構成システムは次のとおりです。

(1)。空気取り扱い装置。
(2)。エアシャワールーム。
(3)。クリーンルームの更衣室。
(4)。エアシャワー。
(5)。空気清浄機。
(6)。温度および湿度制御システム。
(7)。空調システム
(8)。空気供給システム
(9)。排気システム
(10)。照明システム
(11)。廃ガスおよび廃水処理システム。
(12)。純水システム
(13)。空気供給システム。

 

モデル クリーンルームプロジェクト
提供されるアフターセールスサービス 海外サービスセンターが利用可能
PVCフロア
清潔さ ISO 5-- ISO9
目的 不妊環境生産
適切な機会 医薬品電子産業
材料 サンドイッチパネル
使用法 倉庫、ヴィラ、寮、一時的なオフィス、ワークショップ、Airpurify
認証 ISO、CE、GMP
保証

1年

 

製品の写真

 

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会社概要
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私たちの住所

No.188 Xiangwei Road、Xiangwei RoadとChengyang Road(Haiji Feiyue内の南ビルの2階)Xiangcheng地区、江蘇省、中国、江蘇省Xiangcheng地区のジャンクション近く

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電子メール

pharma@sz-pharma.com

Suzhou-Pharma-Machinery-Co-Ltd- 4 - 1

 

 

 

 

 

よくある質問

Q:あなたの会社はどの製品を専門としていますか?
A:クリーンルームターンキープロジェクト、エアクリーンな機器、抽出に特化した当社
機械。


Q:どのようなクリーンルームの業界を供給できますか?
A:病院、実験室、医薬品、医療、電子、生物学、食品、および補給、
化粧品産業など。


Q:クリーンルームには設置と貨物が含まれていますか?
freightacordingtoyouraddress。


Q:クリーンルームはどのように機能しますか?
A:クリーンルームは、汚染に敏感に対処するための制御された孤立した環境を提供します
物質または制御された人々の危険な物質から外部環境を保護するため
面積。クリーンルーム内のサブミクロンとより大きなエアボム粒子汚染の密度は
きれいなろ過された空気をクリーンルームに強制することにより、しっかりと制御された制限内に保たれます。


Q:特別なデザインと機能を入手できますか?
A:はい、私たちはあなたに新しいデザインを提供したり、に従って製造できることを非常に嬉しく思います
あなたの図面に。


Q:どのようにして高レベルの製造プロセスと設置を保証できますか?
A:私たちは15年以上のプロのサプライヤーです。私たちには最高のデザイナー、エンジニアがいます。
クリーンルームの基準に従って設計および製造します。私たちは完全な経験を持っています
設置労働者、彼らは専門的なスキルを備えた完璧な建物を作ることができます。

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