製品の紹介
チップ製造クリーンルームの分類:
一方向の流量クリーンルーム:空気は、均一な断面速度での平行流線に沿って一方向に流れます。この種のクリーンルームには高度な清潔さがあり、汚染物質を迅速かつ効果的に除去できます。たとえば、いくつかの高精度の光学機器のアセンブリワークショップで使用される一方向のフロークリーンルームは、ほこりなどの汚染物質が機器の精度に影響を与えるのを防ぐことができます。


非方向性の流れのクリーンルーム(乱流クリーンルーム):空気の流れは不規則で乱流であり、部屋の汚染物質の濃度は希釈により減少します。その清潔さは、一方向のフロークリーンルームの清潔さよりも低くなりますが、建設コストと運用コストも低くなっています。一般に、通常の電子コンポーネントの制作ワークショップなど、清潔さの要件が極端に高くない場所で使用されます。
製品の写真
チップ製造クリーンルームレベルによる分類
国際標準ISO {{{0}}}は、クリーンルームをISO 1(最高の清潔さ、0}以上の粒子の数)からいくつかのレベルに分割します。空気1キュービックメーターあたり1ミクロンは10を超えない(ISO 9を超えない) 3,520、000)は、たとえば、統合された回路製造のフォトリソグラフィープロセスでは、ISO 1-3の清潔な環境が必要になる場合があります。


会社概要
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