最近では、ファンフィルターユニット（FFU）と二次氷水系ドライコイル（DCC）の組み合わせにより、クリーンルーム内のクリーン化のための換気サイクルとしてクリーンルームに適用されています。このシステムは、使用時の柔軟性と安定性が高く、温度制御が比較的安定していること、FFU の価格がますます低価格になっていることから、209E-CLASS-100 以上のクリーン ルームで広く使用されています。ただし、現場では、特に換気回数が 50 ～ 150 回/時間の間で設計されているクラス-1000 レベルのクリーンルームでは、この工法には客観的な制限がまだいくつかあります。したがって、FFU/DCC を使用する場合、両方の AHU/DUCT システムには相対的な利点と欠点があるため、清浄度レベル CLASS-1000 のクリーンルームの建設に AHU/DUCT システムが使用される場合、伝統的な建築手法を採用しているため、コストは比較的低くなります。
3.1.1.1 AHU/DUCT システム:
A. 本システムを使用する天井は単層PU天井であるため、そのエアダクトおよび関連プロセスパイプラインはPU天井の上に設置でき、FFU/DCCシステムのプレナム内のFFUのメンテナンススペースと循環用エアダクトを設置できます。風量は考慮されていません。したがって、壁面パネルの高さは C/R の内部処理に必要な高さのみを考慮しており、C/R の正味高さは比較的低くなっている。
B. DCC の設置サイズと設置面積が考慮されていないため、その還気壁のサイズは比較的小さく、保管ボードの使用と C/R 内の還気壁の占有面積を削減できます。 。
3.1.1.2 FFU/DCC システム:
A. このシステムを使用して、FFU の設置と将来の FFU のメンテナンススペースおよび循環エアダクトを評価するために、C/RCEILINGT-GRID の上部 PU 天井の高さを 1.5M に維持することを推奨します。一般的な C/R プロセスに必要な正味高さが 3M から 3.5M であるため、この空間は PLENUM と呼ばれます。 PLENUM 1.5M の高さを追加すると、一般的な建物の最大屋内高さに達します。したがって、本システムのエアダクトおよび関連プロセスダクトは、PLENUMを貫通する空間に設置されます。したがって、このシステムのフルハイト壁パネルの高さは約 5.2M となり、収納パネルの使用量が増加します。より高い建設もより困難になります。関連するプロセス管理システムが隔壁を通過するため、倉庫のボード開口部の気密エッジ閉鎖に関して多くの問題が発生しています。
B. DCC の面積と FFU の圧力損失を測定するには、還気壁の幅を DCC のサイズに合わせる必要があります。したがって、還気壁のサイズをあまり狭くすることはできず、必然的に還気壁のサイズが大きくなり、その結果、保管盤の使用量が増加し、C/Rスペースの占有面積が相対的に増加します。
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2024/11/11
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