空調ユニット
空調ユニット (AHU) は HVAC システムのバックボーンです。一般的なオフィス環境では、フィルターされた空気が送られる「ベース」または「ハブ」になります。通常、長い金属製の箱のような外観で、必要な条件に応じて、加熱コイルや冷却コイル、フィルター、ダンパーなど、さまざまな要素を内蔵できます。通常、AHU はダクトに接続され、環境全体に空気を循環させます。
クリーンルームでは、AHU は複雑になることがあります。空気が清潔で加圧され、適切な温度と湿度を保つために、高効率フィルター、湿度制御要素、その他の高度な機能が使用される場合があります。
特定の環境では、1 台の AHU で ISO クラス 7 ～ 9 の基準を満たすことができますが、これはもちろん AHU のサイズと用途によって異なります。ISO クラス 6 以上などのより厳しい空気清浄基準を満たす必要がある場合は、1 台の AHU では不十分である可能性があります。クリーンルーム エンジニアは、適切な基準を達成するために、複数のコンポーネントまたはユニットを組み合わせることがよくあります。
ファンフィルターユニット
ファン フィルター ユニット (FFU) を使用すると、より局所的または即時の濾過が可能になります。これらはスタンドアロン ユニットで、通常は AHU よりもはるかに小型です。クリーンルームの天井グリッドに設置されることが多い FFU は、作業環境に近い高効率フィルターを通して空気を濾過します。
最も厳格なクリーンルームでは FFU が使用され、クリーンルーム内の重要なエリアでの汚染リスクを最小限に抑える必要性によって FFU の配置が決まります。
FFU を使用すると、主に ISO クラス 7 以上のクリーンルームで空気の新鮮さを測定する指標である空気交換率を改善することもできます。通常、より「汚れた」部屋には FFU は必要ありません。
再循環ファンユニット
クリーンルームの HVAC システムには、空気を再循環させるための再循環ファン ユニット (RFU) が含まれることがよくあります。すべてのクリーンルームに空気の再循環が必要なわけではありませんが、これにより空気がよりクリーンになり、環境全体で空気の均等な分配を維持するのに役立ちます。
ISO クラス 7 以上の清浄度基準を必要とするより大規模な環境または空間では、RFU が使用される場合があります。
これらのユニットは、ファンと追加のフィルターを使用して、室内の空気を継続的に循環させ、HVAC システムのろ過および調整装置に戻します。
